[发明专利]多孔玻璃基材制造装置、多孔玻璃基材的制造方法及光纤用玻璃基材的制造方法

摘要

本发明提供能够防止原料气体的再液化的多孔玻璃基材制造装置。多孔玻璃基材制造装置向沿着起始基材的长度方向相对于起始基材相对移动的燃烧器组的火焰放出有机硅氧烷原料的气体，起始基材以沿着长度方向的旋转轴线为中心旋转，在起始基材的表面形成多孔玻璃微粒的烟炱。该多孔玻璃基材制造装置包括：气化器，其使从原料罐供给的包含液体状态的有机硅氧烷的液体原料气化，从而成为原料气体和载气混合而成的原料混合气体；以及原料气体配管，其将原料混合气体供给至燃烧器。利用组合设于原料气体配管的外侧的内侧绝热材料和设于内侧绝热材料的外侧的外侧绝热材料组合而成的双层绝热，对原料气体配管进行绝热并保温。