[发明专利]具有微米级分辨率的非接触式尺寸测量装置在审
| 申请号： | 202180028378.0 | 申请日： | 2021-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN115398181A | 公开（公告）日： | 2022-11-25 |
| 发明（设计）人： | 亚历山德罗·科米内利;马泰奥·佩莱蒂;达尼洛·伦蒂尼 | 申请（专利权）人： | 泰克诺森斯股份公司 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26;G01B11/06;G01B11/02 |
| 代理公司： | 成都超凡明远知识产权代理有限公司 51258 | 代理人： | 史二梅 |
| 地址： | 意大利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及具有微米级分辨率的非接触式尺寸测量装置(1)，适于测量距设有至少一个反射表面(950)的物体(900)的距离。非接触式尺寸测量装置(1)沿轴线(X‑X)延伸并包括：i)光源(2)，产生朝物体(900)的发射光束(Le)使得反射表面(950)产生反射光束(Lr)；ii)定位在光源(2)的相反侧上的光阻隔元件(3)，及其中，所述光阻隔元件(3)包括至少一个缝隙(30)以仅允许反射光束(Lr)穿过所述缝隙(30)；iii)检测组(5)，包括：成像传感器(50)，在成像传感器上检测穿过缝隙(30)的反射光束(Lr)的投影(500)；处理和控制组件(51)，其操作性连接至成像传感器(50)并适于分析投影(500)以确定反射表面(950)的距离和特征。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 微米 分辨率 接触 尺寸 测量 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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