[发明专利]在光刻设备中的动态气锁隔膜和光瞳琢面反射镜的寿命终止监测以及隔膜破裂的检测在审
| 申请号： | 202180018808.0 | 申请日： | 2021-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN115244468A | 公开（公告）日： | 2022-10-25 |
| 发明（设计）人： | J·H·里昂;吉米·亨德里克斯;周平;黄壮雄;雷尼耶·西奥多勒斯·马丁努斯·吉里森 | 申请（专利权）人： | ASML控股股份有限公司;ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 毕杨 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本文中的实施例描述用于在光刻设备中的动态气锁(DGL)隔膜和光瞳琢面反射镜的破裂检测和寿命终止监测的方法、装置和系统。一种用于检测在光刻设备中的动态气锁隔膜的破裂的方法包括：使用辐射源用测量束照射所述动态气锁隔膜，其中，所述动态气锁隔膜被布置于所述晶片与光刻设备的投影光学器件之间；以及通过使用反射收集光学器件来确定来自所述测量束的任何辐射是否被从所述动态气锁隔膜反射，其中，所述反射收集光学器件被布置于所述动态气锁隔膜上方。如果没有辐射被从所述动态气锁隔膜反射，则检测到所述动态气锁隔膜中的破裂。如果辐射被从所述动态气锁隔膜反射，则所述动态气锁隔膜没有破裂。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 设备 中的 动态 隔膜 光瞳琢面 反射 寿命 终止 监测 以及 破裂 检测 | ||
【主权项】：
暂无信息
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