[发明专利]微机械转速传感器组件、转速传感器阵列和相应的制造方法在审
| 申请号： | 202180015611.1 | 申请日： | 2021-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN115135960A | 公开（公告）日： | 2022-09-30 |
| 发明（设计）人： | R·诺伊;A·拉斯尔;B·库尔曼;P·德根费尔德-舍恩堡;N·F·库尔曼;M·屈内尔;O-A·普吕茨;J-T·利韦德;N·博德 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56;G01C19/5712 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 郭付昌 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明实现一种微机械转速传感器组件、一种转速传感器阵列和一种相应的制造方法。所述微机械转速传感器组件包括：能够通过驱动装置(AT1、AT2)经由驱动框架装置(RA1a、RA1b、RA2a、RA2b)围绕第一轴(z)旋转振荡地驱动的第一转速传感器装置(100)，用于感测围绕第二轴(y)的第一外部转速和围绕第三轴(x)的第二外部转速，其中，所述第一、第二和第三轴(z、y、x)相对彼此垂直地布置；和能够通过所述驱动装置(AT1、AT2)经由所述驱动框架装置(RA1a、RA1b、RA2a、RA2b)沿着所述第二轴(y)线性振荡地驱动的第二转速传感器装置(200)，用于感测围绕所述第一轴(z)的第三外部转速。所述第一转速传感器装置(100)通过所述驱动框架装置(RA1a、RA1b、RA2a、RA2b)与所述第二转速传感器装置(200)连接。所述驱动框架装置(RA1a、RA1b、RA2a、RA2b)具有第一驱动框架(RA1a、RA1b)和第二驱动框架(RA2a、RA2b)，所述第一驱动框架和所述第二驱动框架能够通过所述驱动装置(AT1、AT2)沿着所述第三轴(x)反相振荡地驱动。摆杆使第一和第二转子装置和第一和第二驱动框架连接。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 转速 传感器 组件 阵列 相应 制造 方法 | ||
【主权项】：
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