[发明专利]弹性波装置在审

专利信息
申请号: 202180012374.3 申请日: 2021-02-16
公开(公告)号: CN115039340A 公开(公告)日: 2022-09-09
发明(设计)人: 大门克也 申请(专利权)人: 株式会社村田制作所
主分类号: H03H9/25 分类号: H03H9/25
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 朴云龙
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供一种能够在宽频带中抑制高阶模的弹性波装置。弹性波装置(1)具备支承基板(2)、压电膜(7)和IDT电极(8)。在将由IDT电极(8)的电极指间距规定的波长设为λ时,压电膜(7)的厚度为1λ以下。压电膜(7)为钽酸锂膜或者铌酸锂膜。压电膜(7)具有晶轴[XP,YP,ZP]。支承基板(2)具有第1硅层(3)、第2硅层(4)。第1硅层(3)、第2硅层(4)的面方位为(100)、(110)以及(111)中的任一个。在将基于第1硅层(3)、第2硅层(4)的面方位以及压电膜的晶轴的关系规定的角度设为角度α1、α2时,角度α1以及角度α2为角度α100、角度α110以及角度α111这3种角度中的任一个。在角度α1以及角度α2中,种类以及值中的至少一者不同。
搜索关键词: 弹性 装置
【主权项】:
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