[发明专利]真空系统用气阀单元在审
| 申请号： | 202180002223.X | 申请日： | 2021-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN114173897A | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | 赵镐英 | 申请（专利权）人： | 维泰克株式会社 |
| 主分类号： | A99Z99/00 | 分类号： | A99Z99/00 |
| 代理公司： | 北京德崇智捷知识产权代理有限公司 11467 | 代理人： | 金星 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种真空系统用气阀单元。所述阀单元包括：控制部，其感应外部排气空间的压力并输出电磁阀开/关信号，从而能够主动对排出孔的空气供给及切断进行控制。另外，优选地，所述阀单元设置有多个贯通孔与电磁阀，通过所述控制部可以对各个贯通孔的出口开闭进行控制。例如，可以实现真空生成管路的增设或生成/废除管路的并用等功能。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 系统 气阀 单元 | ||
【主权项】：
暂无信息
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