[外观设计]基板处理装置用遮蔽件有效
| 申请号： | 202130597183.0 | 申请日： | 2021-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN307120587S | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 森田慎也;中嶋诚世;村田慧 | 申请（专利权）人： | 株式会社国际电气 |
| 主分类号： | 23-01 | 分类号： | 23-01 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 陈伟;刘伟志 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 1.本外观设计产品的名称：基板处理装置用遮蔽件。2.本外观设计产品的用途：设置于基板处理装置的炉口部来遮蔽在处理室内产生的气体或热能的流动。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 装置 遮蔽 | ||
【主权项】：
暂无信息
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