[外观设计]条形射频离子源有效
| 申请号： | 202130371261.5 | 申请日： | 2021-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN307027515S | 公开（公告）日： | 2021-12-24 |
| 发明（设计）人： | 刘伟基;冀鸣;易洪波;赵刚;吴秋生 | 申请（专利权）人： | 中山市博顿光电科技有限公司;佛山市博顿光电科技有限公司 |
| 主分类号： | 15-99 | 分类号： | 15-99 |
| 代理公司： | 广州市律帆知识产权代理事务所(普通合伙) 44614 | 代理人： | 余永文 |
| 地址： | 528400 广东省中山市火*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 1.本外观设计产品的名称：条形射频离子源。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品属于大覆盖面积的离子源产品，可广泛应用于高端光学辅助镀膜、离子束溅射镀膜、离子束刻蚀与超高精度表面处理等。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：组合状态1立体图。5.本产品包括产品“组合状态1”和“组合状态2”两套产品，其中，产品“组合状态1”由套件1和套件2配套构成；产品“组合状态2”由套件3和套件4配套构成；套件1和套件3分别是条形的阳极结构，套件2是单级条形栅网结构，套件4是多级条形栅网结构。 | ||
| 搜索关键词： | 条形 射频 离子源 | ||
【主权项】：
暂无信息
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