[实用新型]一种硅反应装置有效
| 申请号： | 202123389283.8 | 申请日： | 2021-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN218182164U | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | 王美玲;田才忠;林保璋 | 申请（专利权）人： | 盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京市竞天公诚律师事务所 11770 | 代理人： | 陈果 |
| 地址： | 315100 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种硅反应装置，包括隔板、第一腔室、第二腔室、线圈、多个进气管道以及喷嘴，隔板设置在第一腔室以及第二腔室之间，线圈以及多个进气管道均设置在第一腔室的内部，多个进气管道的第一端连接至喷嘴，喷嘴与第二腔室连通，多个进气管道在第一腔室中以喷嘴为中心均匀布置。本实用新型能够使得真空腔室内的等离子体均匀分布。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 反应 装置 | ||
【主权项】：
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