[实用新型]一种单片晶圆自动转换器

摘要

本实用新型公开了一种单片晶圆自动转换器，属于晶圆加工技术领域，包括工作台，所述工作台的上端中间设置有支撑架，所述支撑架的侧边设置有晶圆卡匣二，所述工作台的内部设置有驱动组件，所述驱动组件的上端设置有升降组件，本实用新型通过按动电源开关，驱动马达转动带动丝杆转动，丝杆上端的滑座移动，滑座带动升降组件移动,升降组件上端的晶圆推板移动进行晶圆的移动，滑座带动升降组件回移，电机转动使螺杆旋转，螺杆上端的升降板收缩，使晶圆推板上端的晶圆下移，然后驱动马达转动使滑座移动，从而带动晶圆推板移动将晶圆移至晶圆卡匣二中，实现晶圆的自动转换，结构简单，操作便携，降低成本，提高转换效率。