[实用新型]一种用于芯片的真空吸取器有效
| 申请号: | 202123356355.9 | 申请日: | 2021-12-29 |
| 公开(公告)号: | CN216671595U | 公开(公告)日: | 2022-06-03 |
| 发明(设计)人: | 唐晓玉 | 申请(专利权)人: | 深圳晶芯半导体封测有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683 |
| 代理公司: | 深圳市博太联众专利代理事务所(特殊普通合伙) 44354 | 代理人: | 董江涛 |
| 地址: | 518000 广东省深圳市光明新区光明街道*** | 国省代码: | 广东;44 |
| 权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
| 摘要: | 本实用新型公开了一种用于芯片的真空吸取器,涉及芯片技术领域,为解决现有技术中的现有的吸取器的吸头部位大多结构简单,在吸取芯片时,常常因为芯片较薄而吸附力过大,导致芯片变形产生损伤的问题。所述固定箱的下方安装有连接箱,且固定箱与连接箱通过螺钉固定连接,所述连接箱的下方安装有吸头,且连接箱与吸头通过螺钉固定连接,所述吸头的内部设置有真空腔,所述真空腔内部的下方设置有吸附板,所述吸附板的下方安装有垫片,且吸附板与垫片通过胶水固定连接,所述吸附板的内部设置有气流孔,且气流孔分别贯穿吸附板和垫片并与真空腔连通。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 用于 芯片 真空 吸取 | ||
【主权项】:
暂无信息
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





