[实用新型]一种外延炉改善温场加热丝有效
| 申请号： | 202123201196.5 | 申请日： | 2021-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN216795303U | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | 刘雪辉 | 申请（专利权）人： | 上海智甡光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H05B3/06 | 分类号： | H05B3/06 |
| 代理公司： | 北京中索知识产权代理有限公司 11640 | 代理人： | 肖梦华 |
| 地址： | 201700 上海市青浦区金*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种外延炉改善温场加热丝，属于加热丝技术领域。其主要针对现有的外延炉用电热丝由于高度被限定，形成的温度场热度分布不均匀，靠近加热丝的低处温场温度较高，远离加热丝的高处温场温度较低，提出如下技术方案：包括加热架和安装在加热架上的加热丝线，所述加热架的上表面设置有多个能调节高度的加热架条，所述加热架条上表面开设有用于卡住加热丝线的卡槽，每个所述加热架条的底端均固定连接有一个竖轴，所述加热架的底部且位于每个竖轴的下方均螺旋连接有一个用于将加热架条向上顶推的单推螺轴。本实用新型具有改善调节加热温场的作用，能使温场在高度方向热度更加均匀，主要应用于外延炉的加热。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 外延 改善 加热 | ||
【主权项】：
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