[实用新型]超高真空容器内壁镀吸气膜装置有效
| 申请号： | 202123172932.9 | 申请日： | 2021-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN216500922U | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 周焱文 | 申请（专利权）人： | 武汉普迪真空科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/00 | 分类号： | B08B1/00;B08B13/00;C23C14/56;C23C16/54 |
| 代理公司： | 湖北天领艾匹律师事务所 42252 | 代理人： | 余枭 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及镀膜技术领域，尤其是超高真空容器内壁镀吸气膜装置，包括工作台，所述工作台的顶部设置有两组支撑板，第一组所述支撑板的一侧设置有限位槽，所述限位槽的内部设置有丝杆，所述丝杆的外部转动连接有螺纹块，所述螺纹块的一侧固定连接有横板，所述横板的一侧设置有刮板，有益效果在于：通过设置的移动块、第一横轴、第二横轴、万向轮、限位齿、卡条、插孔、气缸，有利于通过移动块底部的万向轮来移动工作台，之后转动第二横轴使卡条卡在限位齿的一侧，之后气缸的输出端伸出贯穿第一横轴与第二横轴上的插孔，此举有利于将第一横轴与第二横轴固定使万向轮固定。 | ||
| 搜索关键词： | 超高 真空 容器 内壁 吸气 装置 | ||
【主权项】：
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