[实用新型]一种膜料承载件搬运机构及真空镀膜装置有效
| 申请号： | 202123119603.8 | 申请日： | 2021-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN219010435U | 公开（公告）日： | 2023-05-12 |
| 发明（设计）人： | 黄永长;龙汝磊;吴萍 | 申请（专利权）人： | 光驰科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 任德欣 |
| 地址： | 200436 上海市宝山区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空镀膜技术领域，公开一种膜料承载件搬运机构及真空镀膜装置。其中膜料承载件搬运机构包括放置台、抓取模组、驱动模组和升降模组，其中，膜料承载件放置于放置台上，放置台设置两个以上第一放置位；抓取模组用于抓取第一操作位上位于抓取平面的膜料承载件；驱动模组用于驱动放置台，以使某一第一放置位正对第一操作位；升降模组用于驱动正对第一操作位的第一放置位上的膜料承载件升降，以使待抓取的膜料承载件位于抓取平面。本实用新型放置台上设置有两个以上第一放置位，以增加盛放膜料承载件的数量；通过使第一放置位的膜料承载件升降，以适应不同型号，尤其是不同高度的膜料承载件，提高了膜料承载件搬运机构的通用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 承载 搬运 机构 真空镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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