[实用新型]一种新型晶圆载具

摘要

本实用新型公开了一种新型晶圆载具，涉及晶圆加工领域，包括载具前侧板和载具后侧板，载具前侧板左右两侧下端固定连接有纵向设置的支柱，载具前侧板和载具后侧板之间的容置组成晶圆仓，晶圆仓下端设置有支撑座，载具前侧板和载具后侧板之间左右两侧中部对称的固定连接有若干个晶圆支板，载具前侧板和载具后侧板之间左右两侧上端对称的固定连接有晶圆上支板，载具前侧板和载具后侧板之间左右两侧下端对称的固定连接有晶圆下支板。本实用新型的优点在于：通过对晶圆载具进行结构改进设计，使得在进行晶圆加工时，加工流体可对各层晶圆板进行相同的加工，保证了各层晶圆板的加工一致性，有效的提高了生产效率和设备利用率，提高了设备的适应性。