[实用新型]一种电镀装置有效
| 申请号： | 202122999120.5 | 申请日： | 2021-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN217203019U | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 武素衡 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C25D17/00 | 分类号： | C25D17/00;C25D7/12 |
| 代理公司： | 北京恒博知识产权代理有限公司 11528 | 代理人： | 张琦 |
| 地址： | 430205 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种电镀装置，包括主体、正电极、负电极以及第一驱动件。主体包括容液槽，正电极位于容液槽内，负电极也位于容液槽内，负电极用于与待电镀件电连接，第一驱动件与正电极连接，第一驱动件用于驱动正电极沿第一预设方向移动。其中，正电极包括电镀面，第一预设方向与电镀面垂直。在本申请实施例中加入第一驱动件，使得正电极的位置可以调整，以确保在整个电镀过程中正电极与待电镀件之间的距离不变，从而使得正电极与待电镀件之间的电场分布不变，保证了待电镀件表面镀层的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电镀 装置 | ||
【主权项】：
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