[实用新型]一种太阳能电池片在线刻蚀去离子水节水清洗装置

摘要

本实用新型公开了一种太阳能电池片在线刻蚀去离子水节水清洗装置，包括刻蚀平台和安装在刻蚀平台且依次放置的刻蚀槽、第一清洗槽、碱槽、第二清洗槽、酸洗槽、第三清洗槽、烘干槽以及喷淋模组；其中，喷淋模组的输出端设置有喷淋水刀，喷淋水刀包括安装在第一清洗槽出槽口位置的第一水刀、安装在第二清洗槽出槽口位置的第二水刀和安装在第三清洗槽出槽口位置的第三水刀；喷淋模组包括供液管和与供液管连通的喷淋管，喷淋水刀安装在喷淋管上。有益效果：本实用新型涉及捷佳创SC‑LSPCS机型型上的；在线喷淋装置，此装置体积小、便利性强，且集成至设备内部，不影响此设备原有面貌、功能，实现在线返工片清洗功能。