[实用新型]微机械装置及微机械系统有效
| 申请号： | 202122975703.4 | 申请日： | 2021-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN217479067U | 公开（公告）日： | 2022-09-23 |
| 发明（设计）人： | D·朱斯蒂;M·费雷拉;A·S·萨沃亚;F·夸利亚 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B06B1/06 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 黄海鸣 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种微机械装置及微机械系统。该装置包括：本体；间隔元件，耦接至本体；第一电极结构，耦接至间隔元件且叠加至本体并与本体交叠且与本体电绝缘，第一电极结构、本体和至少一间隔元件界定具有在间隔元件的相应侧壁中相对的侧壁间延伸的第一尺寸的第一掩埋腔；第一压电元件，耦接且叠加至并交叠第一电极结构，第一压电元件与第一掩埋腔交叠，第一压电元件具有在第一压电元件的相应侧壁中的相对侧壁间延伸的小于第一掩埋腔的第一尺寸的第二尺寸；本体、第一电极结构和掩埋腔形成第一电容式超声换能器，第一电极结构和第一压电元件形成第一压电超声换能器。本实用新型的技术以简单的方式获得了高通用性、适应性的微机械装置和微机械系统。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 装置 系统 | ||
【主权项】：
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