[实用新型]红外探测器有效
| 申请号： | 202122968961.X | 申请日： | 2021-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN216283968U | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 张彦秀;王乾;梁维佳 | 申请（专利权）人： | 北京燕东微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/04 | 分类号： | G01J5/04 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡纯;张靖琳 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京经*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种红外探测器，包括带有红外探测单元的晶圆；以及封装盖，封装盖包括相连的顶部与侧部，顶部与侧部构成空腔，侧部包括至少一个环形连通的沟槽，沟槽自侧部的自由端向顶部的方向延伸，侧部的自由端与晶圆相连，以使红外探测单元置于空腔内，其中，沟槽内设置有第一吸气剂层。该红外探测器利用封装盖中的沟槽作为阻挡层与其中的吸气剂共同作用，有效地提升了红外探测器封装的严密度。 | ||
| 搜索关键词： | 红外探测器 | ||
【主权项】：
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