[实用新型]一种晶圆对准装置及安装结构

摘要

本实用新型涉及一种晶圆对准装置及安装结构，对准装置包括至少三个对中调节机构，每个对中调节机构沿同一圆心的半径方向布置，每组相邻的两个对中调节机构之间的夹角均相同；每个对中调节机构各自包括气缸及由气缸推动沿圆心半径方向往复直线运动的移动部，每个气缸安装在气缸固定架的底面上。对准装置安装时，将气缸固定架的顶面与固定晶圆的卡盘底面贴合固定，令每个移动部的自由端沿卡盘顶部的圆心半径方向移动。本实用新型所设计的对准装置结构简单且体积小，可贴合晶圆卡盘安装，不会占用机台过多空间影响操作，可以有效避免晶圆与卡盘中心发生偏移，且对准装置适用调节的晶圆大小及厚度范围较广，有利于简化硬件机械结构。