[实用新型]一种花篮硅片顶升机构

摘要

本实用新型公开了一种花篮硅片顶升机构,包括承载机架和顶升组件，承载机架包括顶升动力组件，顶升动力组件控制顶升组件升降，顶升组件包括顶升连接板和顶升件，顶升件包括顶升框架组件、顶齿固定板和顶齿组件，顶齿组件通过顶齿固定板安装在顶升框架板，顶齿组件由若干顶齿构成，一组顶齿设置有若干插槽，硅片导入或导出插槽，本实用新型在顶齿固定板设计顶升连接调节孔可以顶齿固定板和顶升框架板的安装进行微调，一方面降低两者的适配度，降低两者的加工要求，另一方面可防止长时间使用磨损后，两者出现安装不稳定的问题，提高零件的使用时间。