[实用新型]一种隔振支腿及包含该支腿的自定心光学隔振平台

摘要

本实用新型给出了一种隔振支腿及包含该支腿的自定心光学隔振平台，包括隔振支腿、气源、支撑平台、压力调控组件；隔振支腿包括支撑主体、隔振组件，隔振组件设置在支撑主体上，在支撑主体上设置有两个上下相邻的上空腔和下空腔；隔振组件包括支撑盘、调节螺纹杆、环形弹性膜、三摆线组件；三摆线组件包括摆杆、摆线、摆动支撑筒；气源为隔振支腿提供稳定高压气流，压力调控组件依据支撑平台的位置，调控隔振支腿内气压。本隔振平台利用环形弹性模、上空腔和下空腔组成的空气弹簧可有效实现垂直方向的滤振，利用三摆线组件可有效实现水平方向的滤振，从而大大提高了本隔振平台的滤振效果。