[实用新型]蒸镀遮掩装置和蒸镀设备有效
| 申请号： | 202122765984.0 | 申请日： | 2021-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN216237239U | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 彭振威 | 申请（专利权）人： | 乐金显示光电科技（中国）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 陈宏 |
| 地址： | 510530 广东省广州市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种蒸镀遮掩装置和蒸镀设备，其中，蒸镀遮掩装置包括载台和设置在载台上的遮板，遮板包括框架和设置在框架内的遮条组件，遮条组件包括第一遮条和第二遮条，第一遮条的两端均与框架连接，第二遮条的一端和框架连接，第二遮条的另一端和第一遮条连接，至少在第二遮条的中部区域的下方设置支撑板，支撑板包括连接端和悬空端，连接端和载台可拆卸连接，悬空端和遮条组件的下表面抵紧，且悬空端的端面凸出于载台且不凸出于遮条组件。通过设置支撑板，支撑板可以对第二遮条的中部区域进行支撑，减少第二遮条中部区域因重力产生的下凹变形，使遮板的第二遮条与待蒸镀的基板之间能够处于规定的范围之内，从而提高蒸镀所得的基板质量。 | ||
| 搜索关键词： | 遮掩 装置 设备 | ||
【主权项】：
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