[实用新型]一种用于太阳能硅片刻蚀设备中的匀流管路

摘要

本实用新型属于太阳能电池片制造技术领域，具体公开了一种用于太阳能硅片刻蚀设备中的匀流管路，包括建浴主管、若干建浴支管以及支撑架；所述建浴主管的一端安装有建浴主管接头，另一端安装有建浴主管排气堵头；若干所述建浴支管阵列安装在建浴主管的一侧，且建浴支管远离建浴主管的一端安装有建浴支管排气堵头；所述支撑架设有若干个，且间隔设置在建浴支管的底部；所述支撑架包括承载杆，所述承载杆的顶部与建浴支管的对应处均固接有管夹，且管夹与建浴支管卡合；所述承载杆上开设有若干安装孔，且安装孔内活动设有紧固螺栓；本实用新型能够将药液均匀扩散至建浴区内，保护太阳能电池硅片，使其不易受到建浴区内气泡破开的影响。