[实用新型]一种锁频单脉冲紫外超快激光精密打标透明材料的系统

摘要

本实用新型提供一种锁频单脉冲紫外超快激光精密打标透明材料的系统，所述系统包括超快激光器、整形光路和光束传输光路、聚焦透镜、工件承载台和控制器，所述超快激光器为能够在高重复频率下发射高能量单脉冲且单脉冲能量一致性高的超快激光器，所述高能量单脉冲能量为50uJ‑1000uJ，所述单脉冲能量一致性为≤±5％；锁定发射频率为10KHz‑200KHz之间的一定值；设定激光波长为353±5nm。本实用新型的打标系统是通过高单脉冲能量的超快激光汽化材料加工面来实现打标，几乎没有热影响区出现、也不需要辅助粉末等物料，标记内容精细清晰、不改变基材强度。