[实用新型]一种高灵敏度MEMS麦克风有效
| 申请号： | 202122684133.3 | 申请日： | 2021-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN216673290U | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 魏丹珠;艾俊 | 申请（专利权）人： | 绍兴中芯集成电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/04 |
| 代理公司： | 绍兴市知衡专利代理事务所(普通合伙) 33277 | 代理人： | 邓爱民 |
| 地址： | 312000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型涉及高灵敏度MEMS麦克风，包括具有正面和背面的基底，基底上形成贯穿正面和背面的背腔，基底正面形成第一绝缘支撑部对覆盖背腔的振动膜进行支撑，振动膜上形成第二绝缘支撑部对极板进行支撑，极板与振动膜之间形成间隙，极板上形成连通间隙的通孔；背腔内设有与振动膜底部接触的支撑体，支撑体将背腔划分为相互连通的两个子背腔，支撑体包括上支撑体和下支撑体，下支撑体与背腔周围的基底连为一体，上支撑体形成于下支撑体顶部，上支撑体与第一绝缘支撑部为同层结构所形成。本实用新型将单颗麦克风芯片面积增大，通过背腔容积的扩充来实现灵敏度的提高，在背腔内部增设了支撑振动膜中部的支撑体，避免因振动膜振幅过大造成损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 灵敏度 mems 麦克风 | ||
【主权项】：
暂无信息
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