[实用新型]一种基于扫描电镜三轴控制驱动组件有效
| 申请号： | 202122670205.9 | 申请日： | 2021-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN216051800U | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 姜伟 | 申请（专利权）人： | 沈阳泽康检测服务有限公司 |
| 主分类号： | G01Q10/00 | 分类号： | G01Q10/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 110000 辽宁省沈阳*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于扫描电镜三轴控制驱动组件，包括底座，所述底座的上方滑动连接有滑动台，所述滑动台在底座上方沿前后方向滑动，所述滑动台上方固定有两组固定柱，两组所述固定柱之间连接有丝杆，所述丝杆的外部套设有螺纹套块，所述螺纹套块的底部固定有固定板，所述固定板上固定有气缸，所述气缸的输出端连接伸缩杆，所述伸缩杆的另一端连接有用于安装扫描电镜的安装板，本实用新型能够对扫描电镜提供三轴控制驱动，进而可以方便在对不同的样品检测时都能满足其位置调整需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 扫描电镜 控制 驱动 组件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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