[实用新型]一种在真空烘干机构中的密封槽体装置有效
申请号: | 202122517722.2 | 申请日: | 2021-10-20 |
公开(公告)号: | CN215951970U | 公开(公告)日: | 2022-03-04 |
发明(设计)人: | 胡玉龙 | 申请(专利权)人: | 釜川(无锡)智能科技有限公司 |
主分类号: | F26B5/04 | 分类号: | F26B5/04;F26B23/04;F26B25/00 |
代理公司: | 北京中仟知识产权代理事务所(普通合伙) 11825 | 代理人: | 黄照 |
地址: | 214000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及半导体及太阳能清洗设备真空烘干技术领域,具体是一种在真空烘干机构中的密封槽体装置。其包括抽真空设备、密封闭合板、加热组件、切水组件、密封槽体、破真空组件、连接固定机构,密封闭合板上开有凹进去的槽,嵌有氟橡胶密封圈可以更加贴合密封闭合装置;本实用新型的有益效果是:真空烘干槽体装置在加热的同时对槽体产生负压环境;将物料处于真空条件下,降低了水的沸点,让被烘干的物料可以做到低温烘干。不受环境条件影响,能够显著提高操作的可靠性,同时此装置反应灵敏,能及时对异常做出反应,有效降低因异常带来的损害。 | ||
搜索关键词: | 一种 真空 烘干 机构 中的 密封 装置 | ||
【主权项】:
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