[实用新型]一种基于共振扫描实现微米级微孔加工的激光扫描系统

摘要

本实用新型提供了一种基于共振扫描实现微米级微孔加工的激光扫描系统，基于共振扫描实现um级微孔加工的激光扫描系统，包括激光器、电动扩束器、第一片反射镜、电动光阑、x轴偏转共振扫描系统、y轴偏转共振扫描系统、光束准直系统、第二片反射镜、振镜及场镜。本实用新型的目的在于克服现有技术中存在的不足，提供一种基于共振扫描实现微米级微孔加工的激光扫描系统。该装置通过xy双轴独立控制的共振扫描方式替代机械旋转工件，速度快而且可以设置各种扫描形状，克服了机械工件旋转速度低、扫描形状单一、机械磨损等问题，另外共振扫描系统后的振镜专门提供不同微孔之间的跳转，可以实现比单一振镜更快的加工效率。