[实用新型]一种蒸镀装置有效
| 申请号： | 202122408183.9 | 申请日： | 2021-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN215947395U | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 何军舫;王军勇 | 申请（专利权）人： | 北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司;博宇（天津）半导体材料有限公司;博宇（朝阳）半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人： | 郑久兴 |
| 地址： | 101101 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供了一种蒸镀装置，蒸镀装置包括加热腔、加热电极和电极连接结构。加热腔包括加热筒和设于所述加热筒底部的加热底壳；加热电极用于为加热腔提供电源；电极连接结构用于将所述加热腔和所述加热底壳连接。本申请实施例中，加热电极设置于加热腔的加热底壳上，设置于加热底壳上不与加热腔的外围设备存在位置干涉，实现从蒸镀装置的上部开口处安装及取出，有利于加热器的维护以及更换。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 装置 | ||
【主权项】：
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