[实用新型]一种芯片加工设备用芯片固定装置有效

专利信息
申请号: 202122355318.X 申请日: 2021-09-27
公开(公告)号: CN215815833U 公开(公告)日: 2022-02-11
发明(设计)人: 蔡勤彬;詹进鹏;詹学佑 申请(专利权)人: 深圳市顺日半导体有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687;H01L21/67
代理公司: 深圳市正德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 44548 代理人: 胡珍林;王玉梅
地址: 518000 广东省深圳市福田区福田街道*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种芯片加工设备用芯片固定装置,涉及芯片加工技术领域,包括结构主体,所述结构主体的底部设置有底板,所述底板顶部的一侧设置有第一支架,所述底板的顶部远离第一支架的一侧设置有第二支架,所述第一支架的一侧转动连接有第一放置架,所述第一放置架一侧的顶端转动连接有第二放置架。本实用新型通过直接将芯片板的两侧搭在第一放置架和第二放置架上,以销轴为基点转动压板,直至压板上的软垫压在芯片板表面,实现对芯片板的稳定支撑,当需要对支撑中芯片板的背面进行加工时,直接以转动轴和转动杆为基点翻转芯片板,即可实现对芯片板背面的加工,且在翻转的过程中不需要将芯片板从第一放置架和第二放置架上拆下即可实现。
搜索关键词: 一种 芯片 加工 备用 固定 装置
【主权项】:
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