[实用新型]一种稳定防脱的硅片加工载具有效
申请号: | 202122222874.X | 申请日: | 2021-09-14 |
公开(公告)号: | CN215750089U | 公开(公告)日: | 2022-02-08 |
发明(设计)人: | 唐志刚;宋星;罗松文 | 申请(专利权)人: | 深圳市大鸿精工制造有限公司 |
主分类号: | B28D5/00 | 分类号: | B28D5/00;B28D7/04;B28D7/00 |
代理公司: | 深圳市汉瑞知识产权代理事务所(普通合伙) 44766 | 代理人: | 谭露盈 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙岗区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种稳定防脱的硅片加工载具,包括硅片载板,所述硅片载板的上表面设置有放置凹槽,所述硅片载板的内部开设有空腔,所述硅片载板的空腔内部设置有防移装置,所述硅片载板的上方设置有防护装置。本实用新型所述的一种稳定防脱的硅片加工载具,属于载具领域,切分过程中,操作者手指按压防尘盖布并抵住防脱压板,从而防脱压板对硅片进行限位,降低切分时硅片晃动导致切分精度下降的风险,防尘盖布遮盖住圆形硅片未切分的部位,避免硅片长时间裸露在外而受到空气中粉尘的污染,也减少了手指按压产生的污染,而防移压板通过防滑垫片压紧贴合空格纸,防止切分硅片时空格纸在载板上出现位移。 | ||
搜索关键词: | 一种 稳定 硅片 加工 | ||
【主权项】:
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