[实用新型]压电薄膜片和压电薄膜传感器

摘要

本发明涉及传感器技术，公开了一种压电薄膜片和压电薄膜传感器，主要解决传统的压电薄膜制成的压电薄膜传感器无法灵敏地检测通过空气传播的音波强度的问题。压电薄膜片包括压电薄膜层，压电薄膜层沿其纵向极化，压电薄膜片还包括覆盖在压电薄膜层上表面的正电极层和覆盖在压电薄膜层下表面的负电极层，压电薄膜层中具有若干空腔，各空腔沿压电薄膜层横向紧密排列在压电薄膜层中。应用本发明提供的压电薄膜传感器检测压力时，当音波传递到压电薄膜片上时，压电薄膜层内紧密排列的空腔产生腔体振动变形并作用于腔壁上，能够产生比传统压电薄膜更强的压电效应，从而提高对通过空气传播的音波的检测灵敏度。