[实用新型]一种化学气相沉积室及沉积系统

摘要

本实用新型属于化学气相沉积领域，公开了一种化学气相沉积室及沉积系统。所述沉积室的侧壁由多块沉积板首尾拼接形成，所述相邻的沉积板通过内表面为圆弧面的卡接装置拼接在一起。所述卡接装置是横截面为“V”形的长条结构，所述长条结构的两侧通过圆弧面过渡，形成内表面圆弧面，所述长条结构的长度与沉积板的长度相同，两个相邻的沉积板分别竖直固定在长条结构的两侧。使用本实用新型所述化学气相沉积室及沉积系统可以减少产品出现开裂的情况，提高产品利用率。