[实用新型]一种机器人插取片装置

摘要

一种机器人插取片装置，涉及硅片转移装置领域。包括机械手、料板、硅片安置架、皮带传输机；硅片安置架料板上设有驱动装置和料板滑动装置，硅片安置架驱动装置的驱动端与硅片安置架料板滑动装置连接，硅片安置架料板旁配置有机械手；硅片安置架皮带传输机固定安装于硅片安置架料板上，硅片安置架硅片安置架分别设置于硅片安置架皮带传输机的两侧，硅片安置架硅片安置架固定安装于硅片安置架料板上。通过设置料板滑动装置，料板滑动装置通过伺服电机驱动齿轮齿条精准度传动，可以使得料板自动移动，解决了机械手的机械臂活动范围有限，而且硅片安置架长度较长，使得机械手无法对超过活动范围的硅片安置架进行规整的问题。