[实用新型]适应范围广的晶圆激光切割装置有效

专利信息
申请号: 202122098202.2 申请日: 2021-09-01
公开(公告)号: CN215966940U 公开(公告)日: 2022-03-08
发明(设计)人: 潘潘;李宝 申请(专利权)人: 苏州微邦电子有限公司
主分类号: B23K26/38 分类号: B23K26/38;B23K26/03;B23K26/08;B23K26/142;B23K26/70
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及激光切割技术领域的适应范围广的晶圆激光切割装置,包括箱体,箱体的内部设有调节支架,调节支架的底部设有滑块,箱体的内部底端两侧设有滑槽,滑槽的底部设有纵向螺杆,箱体的底部一侧设有纵向调节电机,纵向调节电机的输出轴端设有皮带轮,纵向螺杆的一端也设有皮带轮,两个的皮带轮之间设有皮带,调节支架的顶端一侧设有切割支架,调节支架的顶端内部设有横向螺杆,调节支架的顶端一侧设有横向调节电机。通过将纵向螺杆与横向螺杆同时运行,在带动调节支架移动的同时,还能够使得切割支架进行横向移动,从而实现切割的灵活性,同时提高了切割的精准度,使其能够适用于对各种尺寸晶圆的切割加工,大大提高了设备的实用性。
搜索关键词: 适应 范围 激光 切割 装置
【主权项】:
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