[实用新型]一种带有分体式背管的旋转靶材有效
| 申请号： | 202122014497.0 | 申请日： | 2021-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN215799860U | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;周友平;曹欢欢;王玉辉 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰热等静压技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种带有分体式背管的旋转靶材，将背管设计成由背管主体和至少一个背管组头拼接成的分体式结构，可以在实际生产过程中，利用HIP烧结得到目标尺寸的靶管并且与背管主体相互绑定，随后利用螺纹将对应设备连接端和/或端头连接端的背管组头与背管主体相连接，无需在HIP烧结后采用机加工去除两端的靶管，实现了靶管对应的高纯金属的零损耗，有效降低了生产成本，大大提升了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 带有 体式 旋转 | ||
【主权项】：
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