[实用新型]一种碳化硅单晶炉用坩埚尺位升降测量装置有效
| 申请号: | 202121970566.9 | 申请日: | 2021-08-20 | 
| 公开(公告)号: | CN215491988U | 公开(公告)日: | 2022-01-11 | 
| 发明(设计)人: | 田茗文;李文勇;陈荣坤;张冬 | 申请(专利权)人: | 河北天达晶阳半导体技术股份有限公司 | 
| 主分类号: | G01F23/66 | 分类号: | G01F23/66;G01D11/28 | 
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 | 
| 地址: | 054001 河*** | 国省代码: | 河北;13 | 
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| 摘要: | 本实用新型公开了一种碳化硅单晶炉用坩埚尺位升降测量装置,涉及碳化硅单晶炉用具技术领域;数显标尺的两端均安装有标尺安装座,数显标尺的滑块上安装有连接板体,连接板体的另一端与坩埚尺位升降块连接,连接板体的右端安装有指针体,数显标尺的右侧设置有测量尺,测量尺的两端均安装有测量尺安装座,测量尺的中部安装有照明灯体,照明灯体的电源端通过开关与电源连接,指针体与测量尺相配合;本实用新型能够实现快速测量,且能够直接显示测量数据,当数显标尺出现故障时能够应急测量;结构简单,能够提高整体的效率,稳定性高,使用方便,操作简便。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 碳化硅 单晶炉用 坩埚 升降 测量 装置 | ||
【主权项】:
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