[实用新型]一种用于真空镀膜机的置片架有效

专利信息
申请号: 202121942493.2 申请日: 2021-08-18
公开(公告)号: CN216303976U 公开(公告)日: 2022-04-15
发明(设计)人: 吴本安;毛中犁 申请(专利权)人: 深圳市易卜光电有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50
代理公司: 深圳树贤专利代理事务所(普通合伙) 44705 代理人: 曾建芳
地址: 518000 广东省深圳市龙岗区*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种用于真空镀膜机的置片架,包括置片架本体,所述置片架本体为圆弧形伞状结构,置片架本体上等距设有若干通孔,所述置片架本体内凹侧壁处还设有防滑板,所述防滑板与置片架本体内侧壁垂直设置。本实用新型通过设置圆弧形伞状结构的置片架,使基片可直接放置在置片架上,再将置片架安装至真空镀膜机内便可进行真空镀膜,减少了人工成本并提高了基片的安装效率,进而提升了镀膜效率;同时通过将基片放置在置片架表面,使基片安装后,基片表面无遮挡物遮挡,进而使真空镀膜时,基片表面能得到完整镀膜,提高了基片镀膜的完整度,并使基片的镀膜更加均匀。
搜索关键词: 一种 用于 真空镀膜 置片架
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