[实用新型]一种高精度线扫花篮检测设备有效
| 申请号： | 202121923659.6 | 申请日： | 2021-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN215768301U | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 张彪;李金荣;卢晓风 | 申请（专利权）人： | 深圳市艾特自动化有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/90 | 分类号： | G01N21/90 |
| 代理公司： | 深圳市中科创为专利代理有限公司 44384 | 代理人： | 刘曰莹;冯建华 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种高精度线扫花篮检测设备，包括：机架、视觉组件、第一驱动件、花篮输送组件和检测光源，所述视觉组件在所述第一驱动件的作用下沿所述机架上下移动；所述花篮输送组件包括：安装支架、输送带和第二驱动件，所述输送带设于所述安装支架上，花篮置于所述输送带上，所述第二驱动件驱动所述输送带转动，带动所述花篮运动；所述检测光源对应所述视觉组件设置，所述花篮输送组件设于所述视觉组件和所述检测光源之间。本实用新型的高精度线扫花篮检测设备，解决了硅片带液难以检出的问题，并能检出双片、少片以及错齿等缺陷，大大提高了硅片的检测精度，提高了良品率，减少了硅片缺陷造成的损失。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 花篮 检测 设备 | ||
【主权项】：
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