[实用新型]一种用于半导体芯片加工的贴装设备有效

专利信息
申请号: 202121890711.2 申请日: 2021-08-13
公开(公告)号: CN216698289U 公开(公告)日: 2022-06-07
发明(设计)人: 高银辉 申请(专利权)人: 青岛融合装备科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/683
代理公司: 济南光启专利代理事务所(普通合伙) 37292 代理人: 张瑜
地址: 266000 山东省青*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 实用新型公开了一种用于半导体芯片加工的贴装设备,包括底座,所述底座上设置有升降液压杆,所述升降液压杆上端设置有工作台,所述工作台上设置有传送机构、吸附机构、芯片台和清洁机构;所述传送机构包括电机、滚筒、皮带和挡板,所述电机的输出轴设置有所述滚筒,所述滚筒的外部设置有所述皮带,所述皮带前后两侧对称设置有所述挡板;所述吸附机构包括支撑架、水平液压杆、竖直液压杆、一号真空泵和吸嘴,所述支撑架前侧设置有所述水平液压杆。有益效果在于:通过设置有清洁机构,可以清洁吸嘴,防止吸嘴被堵塞而影响下次使用;通过设置有升降液压杆,可以调节工作台高度。
搜索关键词: 一种 用于 半导体 芯片 加工 装设
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