[实用新型]一种工艺炉炉门

摘要

本实用新型公开了一种工艺炉炉门，包括圆板门体、固定在圆板门体正面的隔热包以及固定在圆板门体背面的多个安装柱，隔热包内填充有隔热材料，隔热包的外圈面积小于圆板门体的板面积，在圆板门体的正面上形成一个环形区域，在环形区域内安装O形密封圈。本实用新型的工艺炉炉门采用石英结构代替现有技术的金属门，避免了金属门污染硅片的可能。本实用新型采用隔热包结构，隔热包内填充有隔热材料，在工艺炉加热过程中，隔热包可以阻挡热量，有效保护密封圈，提高隔热效果。本实用新型在环形区域内安装O形密封圈，O形密封圈与炉口法兰密合，实现炉门关闭密封，密封效果佳。