[实用新型]一种快照式光谱共焦传感器有效
申请号: | 202121825060.9 | 申请日: | 2021-08-06 |
公开(公告)号: | CN215984391U | 公开(公告)日: | 2022-03-08 |
发明(设计)人: | 周建康;杨平;凌晨;陈志敏 | 申请(专利权)人: | 儒众智能科技(苏州)有限公司 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02;G01B11/14;G02B3/00;G03H1/00 |
代理公司: | 苏州六一专利代理事务所(普通合伙) 32314 | 代理人: | 沈陈 |
地址: | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种快照式光谱共焦传感器,涉及传感器技术领域,包括准直透镜组、分光镜一、校正板、微透镜阵列、聚焦镜一、体光栅和面阵探测器,所述准直透镜组呈水平设置,所述分光镜一处于准直透镜组的正下方,且分光镜一呈45°倾斜设置,所述校正板呈水平设置并处于分光镜一的正下方,所述聚焦镜一竖直设置并处于分光镜一所在平面,且聚焦镜一设置于分光镜一的一侧,所述聚焦镜一与校正板呈反射镜像对称,所述微透镜阵列呈水平设置并处于校正板的正下方;本实用新型采用面阵色散阵列和系统一体化非线性色散补偿方法,实现快照式面区域的形貌信息获取,具有微米甚至几十纳米的高度或位移分辨率。 | ||
搜索关键词: | 一种 快照 光谱 传感器 | ||
【主权项】:
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