[实用新型]一种高散热性的水冷屏结构有效

专利信息
申请号: 202121813864.7 申请日: 2021-08-05
公开(公告)号: CN215404645U 公开(公告)日: 2022-01-04
发明(设计)人: 延锺委;王军磊;王艺澄 申请(专利权)人: 包头美科硅能源有限公司;江苏美科太阳能科技股份有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B15/20;C30B15/26
代理公司: 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 代理人: 周琪
地址: 014010 内蒙古自治区*** 国省代码: 内蒙古;15
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摘要: 实用新型公开了一种高散热性的水冷屏结构,包括水冷屏本体(1),水冷屏本体(1)包括底部的直筒段(1a)和上部的扩口段(1b),水冷屏本体(1)的顶部设有一对CCD窗口(2),水冷屏本体(1)上连有上下两组金属片(3),金属片(3)设为长条形,且其均布于水冷屏本体(1)的内表面上,水冷屏本体(1)的内表面上还设有一条捕捉通道(4),捕捉通道(4)正对着CCD窗口(2)设置。本实用新型的优点是不仅可以加快散热,提高晶棒拉速,而且还可以对氩气的流动进行束缚,减少气流紊乱现象,使晶棒表面散热更加均匀。
搜索关键词: 一种 散热 水冷 结构
【主权项】:
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