[实用新型]一种高散热性的水冷屏结构有效
申请号: | 202121813864.7 | 申请日: | 2021-08-05 |
公开(公告)号: | CN215404645U | 公开(公告)日: | 2022-01-04 |
发明(设计)人: | 延锺委;王军磊;王艺澄 | 申请(专利权)人: | 包头美科硅能源有限公司;江苏美科太阳能科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B15/20;C30B15/26 |
代理公司: | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人: | 周琪 |
地址: | 014010 内蒙古自治区*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种高散热性的水冷屏结构,包括水冷屏本体(1),水冷屏本体(1)包括底部的直筒段(1a)和上部的扩口段(1b),水冷屏本体(1)的顶部设有一对CCD窗口(2),水冷屏本体(1)上连有上下两组金属片(3),金属片(3)设为长条形,且其均布于水冷屏本体(1)的内表面上,水冷屏本体(1)的内表面上还设有一条捕捉通道(4),捕捉通道(4)正对着CCD窗口(2)设置。本实用新型的优点是不仅可以加快散热,提高晶棒拉速,而且还可以对氩气的流动进行束缚,减少气流紊乱现象,使晶棒表面散热更加均匀。 | ||
搜索关键词: | 一种 散热 水冷 结构 | ||
【主权项】:
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