[实用新型]一种用于物理气相沉积机台的磁控阴极结构有效
| 申请号： | 202121746301.0 | 申请日： | 2021-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN216039797U | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 林先展 | 申请（专利权）人： | 华映科技（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/12;H01L51/56 |
| 代理公司： | 福州君诚知识产权代理有限公司 35211 | 代理人： | 戴雨君 |
| 地址： | 350000 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种用于物理气相沉积机台的磁控阴极结构，包括阴极背板，阴极背板对应靶材的正面为光滑平面，阴极背板背面内部间隔设置若干冷却液通道，冷却液通道内流通有设定浓度的磁性流体。通过在阴极铜背板内部设置冷却液通道，冷却液通道的冷却液采用的是磁性流体，磁性流体在冷却管道内部流动将靶材溅射时产生的热量带出，防止靶材由于过热导致金属铟融化而脱离铜背板，并且磁性流体具备形成强磁场，随着磁性流体在管道内部稳定流动，形成和条形磁铁磁场方向以及磁场强度一样的磁场，起到调节靶材粒子旋转的方向和运动的位置，使之均匀地沉积在玻璃基板上。本实用新型磁场大小可根据实际要求，实现可调节性，满足薄膜均匀性的调节。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 物理 沉积 机台 阴极 结构 | ||
【主权项】：
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