[实用新型]一种匀胶机用带吸附防堵胶以及防护功能的气路底座

摘要

本实用新型公开了一种匀胶机用带吸附防堵胶以及防护功能的气路底座，涉及匀胶机技术领域，包括第一支撑柱、第二支撑、基片吸附盘、装配底座、真空管路、上层结构、下层结构、可拆卸视窗和气路，所述第一支撑柱的顶部固定安装有第二支撑，所述第二支撑的顶部固定安装有基片吸附盘，所述第一支撑柱的底部固定安装有装配底座，所述装配底座底部与匀胶机机框体的底部固定连接，本实用新型中，可以防止生产过程中因意外进入匀胶机内部的胶液粘附并堵塞狭小的气路管道，使得基片在生产过程中有足够的真空吸附力保持平稳的高速旋转，有效的提高了光刻胶涂覆的均匀度和平整度，有利于提高产品的质量，生产效率。