[实用新型]一种MEMS惯性传感器芯片模组以及MEMS传感器有效
| 申请号： | 202121621591.6 | 申请日： | 2021-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN215364898U | 公开（公告）日： | 2021-12-31 |
| 发明（设计）人： | 虢晓双;杨靖;张新凯;熊亮;黎傲雪;彭健 | 申请（专利权）人： | 湖南天羿领航科技有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 谭武艺 |
| 地址： | 410100 湖南省长*** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种MEMS惯性传感器芯片模组以及MEMS传感器，包括壳体，所述壳体分别固定有PCB板和金属支撑柱，所述金属支撑柱上支承有MEMS惯性传感器芯片组件，所述MEMS惯性传感器芯片组件上的连接端子通过金属线与PCB板上的连接端子相互连接。本实用新型无需一级封装工艺，大幅度降低封装及集成成本，缩小集成体积，避免了表面安装涉入的热应力，也能实现快速热传导，可保有MEMS惯性传感器芯片级各项性能指标，能够改善现有技术对MEMS惯性传感器芯片的应用限制，避免一级封装或二级封装热应力的对系统集成应用的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 惯性 传感器 芯片 模组 以及 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于湖南天羿领航科技有限公司，未经湖南天羿领航科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202121621591.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：可变效的两级型第一类溴化锂吸收式热泵机组
- 下一篇：杠杆式切片机
