[实用新型]一种沉积炉燃烧器的安装定位辅助组件有效
| 申请号： | 202121598153.2 | 申请日： | 2021-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN215250401U | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 鹿云龙;陈昕;李建均;黄远坤 | 申请（专利权）人： | 四川神光石英科技有限公司;大有科工数字技术（北京）有限公司 |
| 主分类号： | C03B20/00 | 分类号： | C03B20/00;C03B8/04 |
| 代理公司： | 成都欣圣知识产权代理有限公司 51292 | 代理人： | 胡小亮 |
| 地址： | 610000 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型属于沉积炉燃烧器领域。本实用新型公开了一种沉积炉燃烧器的安装定位辅助组件，用于沉积炉内的燃烧器安装，所述燃烧器的进料管为单根直管，包括激光定位工装和角度计算工装。所述激光定位工装与所述燃烧器的进料管连接，其发送的激光束与所述进料管的轴向中心线重合，用于标记所述燃烧器的上料流向；所述角度计算工装放置在所述沉积炉的下方，其朝向所述沉积炉的顶面具有基准中心；所述角度计算工装的顶面与所述沉积炉的轴向中心线垂直，所述基准中心与所述沉积炉的支撑柱的轴向中心线重合。该安装定位辅助组件可直观地观察到燃烧器的上料流向并计算出氢氧焰入射角。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 沉积 燃烧 安装 定位 辅助 组件 | ||
【主权项】：
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