[实用新型]一种真空冷坩埚升降装置

摘要

本实用新型公开了一种真空冷坩埚升降装置，包括支撑底板、支撑法兰和密封法兰，支撑法兰底部两端与支撑底板之间都设置有支撑杆，密封法兰两端与支撑杆滑动连接，密封法兰中间设置有支撑柱，支撑柱内部设置有第一冷却水道，支撑柱穿过支撑法兰安装有坩埚，坩埚内部设置有第二冷却水道，第一冷却水道与第二冷却水道相连通，坩埚底部位于支撑柱外侧设置有套管。本实用新型的有益效果是：本实用新型设计合理，结构简单稳定，实用性强；能够使得坩埚便于加入材料，同时便于坩埚内的材料充分受热，提高受热效率，在此基础上，不影响真空冷坩埚所需要的密封性要求，使其加工效率与质量均得到有效提高。