[实用新型]一种匀光照明设备及匀光棒有效
| 申请号： | 202121404800.1 | 申请日： | 2021-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN214896200U | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | 周升志;王义华 | 申请（专利权）人： | 无锡锡科光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海塔科专利代理事务所(普通合伙) 31380 | 代理人： | 许新蕊 |
| 地址： | 214100 江苏省无锡市惠*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及光学照明技术领域，尤其涉及一种匀光照明设备及匀光棒，包括光刻机镜头；光刻机镜头包括中继镜筒、匀光棒镜筒、照明镜筒、物镜筒、反射镜框和照明镜筒座；匀光棒镜筒与中继镜筒的连接端设置有左封头，匀光棒镜筒与照明镜筒的连接端设置有右封头；匀光棒镜筒的内部设置有空心光棒，空心光棒包括两条大玻璃条和两条小玻璃条；大玻璃条和小玻璃条均为平面玻璃；且在其表面镀有大角度入射的高反膜；一条大玻璃条与一条小玻璃条通过光敏胶胶合形成组合件，两组组合件胶合形成空心光棒；本实用新型中空心光棒相对于实心光棒有效避免了加工过程中破边的问题；满足匀光照明的降低了装调的难度，使用更加方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 照明设备 匀光棒 | ||
【主权项】：
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